雙級旋片式真空泵是一種高效、精密的容積式真空設備，通過兩級串聯(lián)的旋片結構實現(xiàn)氣體分級壓縮與抽排，廣泛應用于真空鍍膜、電子半導體、食品包裝、化工制藥等領域。其核心優(yōu)勢在于通過雙級壓縮顯著提升極限真空度（可達≤6×10?²Pa），同時降低單級負荷，延長使用壽命。

　　該泵由泵體、轉子、旋片、端蓋及彈簧等部件構成。轉子偏心安裝于泵腔內(nèi)，其槽中嵌有兩片可滑動的旋片，彈簧使旋片頂端始終緊貼泵腔內(nèi)壁。運轉時，轉子旋轉帶動旋片滑動，將泵腔分隔為高級（高真空級）和低級（低真空級）兩個工作腔。氣體從進氣口進入高級腔，經(jīng)壓縮后部分直接排出，部分通過級間通道進入低級腔二次壓縮，最終從低級排氣閥排出。這種分級壓縮設計使雙級泵的壓縮比遠高于單級泵，從而獲得更深的真空。

　　雙級旋片式真空泵其核心結構由多個關鍵部件組成。以下是其主要組成部分及功能解析：

　　1、泵體

　　作用：作為整個裝置的外殼和主體框架，容納其他內(nèi)部組件并形成密閉的工作腔室。

　　特點：通常采用黑色金屬制造，具有較高的精密度和耐腐蝕性。

　　2、轉子

　　安裝方式：偏心地安裝在泵腔內(nèi)，其外圓與泵體內(nèi)壁保持微小間隙。

　　功能：通過旋轉帶動旋片運動，實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出循環(huán)。

　　3、旋片

　　數(shù)量與結構：一般為兩塊，嵌于轉子槽中，依靠彈簧張力和離心力緊貼泵腔內(nèi)壁。

　　工作原理：將定子分隔為高、低兩個工作腔（即高級腔和低級腔），通過容積變化完成抽氣過程。當轉子轉動時，旋片隨動滑動，使一側容積擴大吸氣，另一側縮小排氣。

　　4、端蓋

　　位置與用途：位于泵體的兩端，用于封閉系統(tǒng)并支撐相關部件。

　　密封性：確保各連接處的氣密性，防止泄漏影響真空效果。

　　5、彈簧

　　作用機制：置于兩旋片之間，提供持續(xù)的壓力以維持旋片與泵壁的良好接觸。結合離心力共同保證運行穩(wěn)定性。

　　6、排氣閥與輔助裝置

　　排氣通道：包括主排氣閥和輔助排氣閥，用于控制不同壓力下的氣體排放路徑。例如，在吸入壓強較高時，部分氣體直接從輔助閥排出；低壓時則通過級間通道進入低級腔再壓縮后排出。

　　氣鎮(zhèn)裝置（可選）：允許抽除少量可凝性蒸氣（如水蒸氣），增強設備的適應性。

　　7、過濾與分離系統(tǒng)

　　粗過濾器：吸氣口處設有金屬絲網(wǎng)，阻擋固體顆粒進入泵內(nèi)。

　　油分離器：內(nèi)置高效油氣分離器及排氣過渡器，減少油霧污染并回收潤滑油。

　　8、冷卻系統(tǒng)（部分型號配備）

　　水冷設計：某些大型或高性能機型采用泵殼內(nèi)通冷卻水的方式降低溫度，提升極限真空度和運行效率。